產品簡介:
AUTO PM是用於自動清理晶圓切割機管路的外加裝置。
由於各封測廠的去離子水及所添加的藥液品質不一，反而容易污染晶圓切割機台內的管路造成堵塞，需要大量的時間來維護，為了避免因此異常帶來的製程困擾，我們設計了AUTO PM來解決這問題。
產品特性：
- 在切割工作完成後，在符合設定條件的情況下，自動地清理切割機管路
- 4.3吋觸控介面，友善直觀的觸控操作，簡單易學
- 設定條件可達六項
- 安裝簡單
- 內建維護記錄LOG，亦可連線上傳
- 所有晶圓切割機型皆可加裝
- 可和ADU-E1系列加藥機完美整合
- 尺寸小，僅W250*L222*H100，可藏放在切割機內
可放置於切割機內
前後比較
安裝前 安裝後
