產品簡介:
自動精準的藥液添加是今日晶圓切割製程所迫切需要的，ADU-14E1®系列加藥系統即是為了實現藥液添加的自動化、智慧化管理所設計，可按使用者設定的流量或用藥比例將藥液注入晶圓切割機的管路，並可隨時以遠端查看機台運作情況。
產品特性：
- 實現和切割機IN LINE作業。
- 有1對1，1對2，1對4的構型
- 尺寸緊緻，FOOT PRINT僅416x706mm（含承漏盤）, 節省保貴的空間
- 適用各型晶圓切割機（可參考成功案例）
- 符合SEMI-S2規範
- 7吋觸控介面，友善直觀的觸控操作，簡單易學，製程參數一目瞭然
- 全時監控泵浦，發現異常時可中止切割作業或警示
- 全時校正，精準添加，節省藥液
- 可選擇定量或定率模式
- 可實現參數啟動、流量指定、自動化管理
- 可選配AHC（Auto Hose Clean）功能，在切割工作完成後自動清理晶圓切割機的管路。
- 可加裝水阻值監控功能，實現水阻值的遠端監控
- 可加裝中央供藥觸發機制，實現整廠區自動加藥分配功能。
- 密碼輸入，防止誤操作
- LOG可查詢
- 支援乙太網路作業 ，實現遠端操作/資料下載/即時監看
- 可使用專門開發的web dispenser2.0軟體或專屬的SECS/GEM套件進行遠端管理
- 操作語言：中文/英文
- 榮獲多項中華民國發明/新型/設計專利
產品比較表：
左右滑動查看更多| 機型： | 其他機型 | ADU-14E1 |
| 基本功能比較 | ||
| 低液位警報 | V | V |
| 切割IN LINE同步作業 | V | |
| 泵浦異常監控（不作動、流量不足、燒毀、空氣吸入） | V | |
| 當異常發生時通知切割機或中止切割作業 （包含急停開關、訊號線中斷、電源中止、液位過低） |
V | |
| 全時自動校正 | V | |
| 人機介面、觸控操作簡單 | V | |
| 密碼管控防誤觸 | V | |
| 泵浦流量顯示 | V | |
| 切割區用水量顯示 | V | |
| 用藥比例顯示 | V | |
| 定率模式 | V | |
| LOG 紀錄 | V | |
| 網路功能、遠端管理 (web dispenser2.0軟體或專屬的SECS/GEM套件) |
V | |
| 可選配功能 | ||
| 加藥後阻抗值顯示 | V | |
| 配合中央供藥供酸系統機制 | V | |
| AHC (Auto Hose Clean) 管路自動清理 | V | |
機台外觀及尺寸
成功案例(各式新舊切割機皆可對應)
連接示意圖
友善直觀的操作介面，所有數據一目瞭然
遠端操作管理（Web dispenser2.0）操作介面
完整的LOG FILE自動產生，隨時備查（CSV檔）
